めっき技術レポート

表面改質

スパッタリングの概要

スパッタリングの概要とその特徴について記載してます。

スパッタリングとは、本来は高速のイオン等がターゲット
に衝突する時、ターゲット構成する原子がたたき出させる
現象を指している。

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