スパッタ法とは？ | めっき技術レポート

物質に不活性な物質を高速で衝突させると、物質表面で「原子」や
「分子」と衝突し様ような現象が起こります。
この現象のうちで、物質を構成する原子や分子が叩き出される過程を
「スパッタリング」といい、この叩き出された原子や分子を基板上に
付着させ薄膜を形成する技術を「スパッタ法」と呼びます。

【特長】
①付着力の強い膜が作成できる
②合金系や化合物の物質組成比をほぼ保ったまま膜作成が可能
③スパッタするガスに反応性のガスを混合することによって、
酸化物、窒化物の薄膜の作成も可能

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