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【用語】6031　スパッタリング

スパッタリングとは、加速された粒子が固体表面に衝突したとき、
運動量の交換によって固体を構成する原子が空間へ放出される現象、
及びこの現象を用いた成膜法のことです。

sputtering

引用元：JIS 金属表面処理　2023

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