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【用語】6028 物理蒸着

物理蒸着とは、高温加熱、スパッタリングなどの物理的方法で
物質を蒸発し、基板に凝縮させ、薄膜を形成する方法のことで
略称:PVDです。

参考:真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング
などの総称。

physical vapor deposition

引用元:JIS 金属表面処理 2023

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