■6023　イオンビームミキシングとは？

■6023　イオンビームミキシングとは？

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★（広義）高エネルギーのイオンと標的原子との衝突
及び反跳作用を利用し、材料表面・界面を構成してい
る原子層を混合又は合金化すること。

★（狭義）基板（2001参照）上に形成した薄膜（20
20参照）にイオンビームを照射し、基板と薄膜とを
完全に混合させた合金、化合物層などを形成させる
こと。

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