■6024　界面ミキシングとは？

■6024　界面ミキシングとは？

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★基板（2001参照）上に形成した薄膜（2020参照）に
イオンビームを照射し、薄膜と基板との界面だけを混合
させるイオンビームミキシング（6023参照）

interface mixing

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