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FAQ
■7003 レジストとは?
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★微細加工プロセスにおいて、パターン形成に必要な光、 電子線などの照射に対して感光性をもつ材料。 参考:感光した後、現像液に可溶性、不溶性又は難溶性 になるかによって、ポジ形レジスト、ネガ形レジストに 区別することができる。
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