■7024　プラズマ分離形プラズマエッチングとは？

■7024　プラズマ分離形プラズマエッチングとは？

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★プラズマ発生室とエッチング室とが分離され、プラ
ズマ発生室で生成した比較的長寿命の中性活性種を
エッチング室に輸送してエッチング（7016参照）する
こと。ケミカルドライエッチング、ダウンフローエッチ
ングともいう。
参考：主としてマイクロ波プラズマが用いられる。

down stream plasma etching

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