■7029　マグネトロン形反応性イオンエッチングとは？

■7029　マグネトロン形反応性イオンエッチングとは？

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★直交電磁界によるマグネトロン放電（1026参照）を
利用して、反応性ガスの高密度プラズマを発生させ、
それによってエッチング（7016参照）を行うこと。

magnetron enhanced reactive ion etching

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