■7031　ECR反応性イオンビームエッチングとは？

■7031　ECR反応性イオンビームエッチングとは？

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★ECRイオン源から引き出した高密度の反応性イオンを
利用する反応性イオンビームエッチング（7030参照）、
参考：イオンの引き出しには、発散磁場を用いる方法
及び引き出し電極を用いる方法がある。

ECR reactive ion beam etching

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