■7032　光励起エッチングとは？

■7032　光励起エッチングとは？

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★紫外光などの光エネルギーによってエッチングガス
（7035参照）を活性化して活性種を発生させ、エッチ
ング（7016参照）を行うこと。
参考：プリント配線板などの配線は、一般にマスク
パターン形成後ウェットエッチング（7020参照）に
よって形成される。このエッチングプロセスをフォト
エッチングと呼んでいる。

photo excited etching

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