■7040　アンダカットとは？

■7040　アンダカットとは？

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★被エッチング材料上のフォトレジストなどのマスク
寸法に比較し、エッチング（7016参照）によって形成
されたマスク直下の被エッチング材料のパターン寸法
が小となる現象。サイドエッチングともいう。

参考：等方性エッチング（7037参照）では必ず生起
するが、異方性エッチング（7038参照）ではマスク
寸法よりパターン寸法の方が大となる場合がある。
これを通常のアンダカットと区別して負のアンダ
カットという。

undercut

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