■7042　オーバーエッチングとは？

■7042　オーバーエッチングとは？

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★所定のエッチング量よりも過剰にエッチング（7016
参照）を行うこと。

参考：一般には、2層以上の積層構造からなる基板
（2001参照）において、被エッチング材料だけで
なく基板材料もエッチングすることを指す。

over etching

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