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FAQ
■8005 洗浄とは?
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★基板表面を清浄化すること。 参考:洗浄方法によって、高温加熱洗浄、蒸気洗浄、 水素放電洗浄、オゾン洗浄、イオンボンバード、紫外線 洗浄、超音波洗浄、スクラブ洗浄などがある。
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