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■8012 アンダーコートとは?
■8012 アンダーコートとは?
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★基板(2001参照)の平滑性の向上、基板からのガス
放出の減少、基板から膜への拡散物質の減少、膜の密着
性の向上などの目的で、成膜前にあらかじめ基板に下地
膜を形成すること。プレコート、ベースコート、プライ
マコートともいう。
under coat