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■8016 真空排気系とは?
■8016 真空排気系とは?
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★操作環境として真空(1004参照)が必要な場合に真空
を作り又は維持するための装置。
参考:真空排気系は、気体を排除するため機器として
ポンプ、トラップ、真空容器とポンプとを連結するフラン
ジ・配管、気体の流れを制御するバルブ、圧力(1005参
照)計測する真空計(8019参照)などで構成される。
vacuum pumping system