■8017　真空ポンプとは？

■8017　真空ポンプとは？

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★特定の空間から気体を排除し、大気圧より低い圧力
（1005参照）お気体で満たされた状態を作り、維持する
ための機器。
参考：気体輸送式真空ポンプ（油回転ポンプ、油拡散ポン
プ、ターボ分子ポンプなど）と気体ため込式真空ポンプ
（ソープションポンプ、ゲッタポンプ、スパッタイオン
ポンプ、クライオポンプなど）とに大別される。

vacuum pump

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