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FAQ
■8018 コールドトラップとは?
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★真空排気系(8016参照)において真空容器とポンプ の間に設置し、液体窒素などによって冷却された面に 逆流する油の蒸気や分解生成物を凝縮させ、望ましく なし気体や蒸気の分圧(1006参照)を減少させる装置。
cold gauge
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