めっきQ&A

FAQ

8020　ガス供給系

真空容器への原料ガス（4011参照）、放電用ガスなど
所用のガスを供給するために、ガスボンベ、制御バルブ、
流量計、マスフローコントローラ（8024参照）、圧力計、
フィルタなどで構成された一連の装置。

gas supply system