■8030　膜厚モニタとは？

■8030　膜厚モニタとは？

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★成膜時に、膜の厚さ又は成膜速度（2037参照）を膜厚
計（9010参照）によって直接又は間接に測定及び監視す
る機構。
参考：膜厚計には、水晶発振式、光学式、原子吸光式
などがある。

thickness monitor

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