■8031　膜厚コントローラとは？

■8031　膜厚コントローラとは？

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★成膜プロセス中に膜厚モニタ（8030参照）によって得
られる膜厚又は成膜速度（2037参照）をフィードバック
して所定の膜厚を制御する機器。
参考：蒸発速度（3022参照）を制御する機能をもつもの
もある。

thickness controller

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