■8033　自公転ジグとは？

■8033　自公転ジグとは？

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★処理容器内に多数の基板（2001参照）を保持し、各基
板に対して均一に処理が行えるように個々の基板又は基板
を保持するジグ（8032参照）を自転させ、さらにこれらの
ジグの全体を蒸発源（3012参照）を中心に公転させること
のできるジグ。
参考：カルーセル形とプラネタリ形とがある。

rotary and revolutionry jig

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