めっきQ&A

FAQ

8036　バレル方式

（１）小さく、かつ、多量の基板（2001参照）を回転
又は振動する容器に満たして処理する方式。
（２）CVD（4001参照）で円筒状のサセプタ（4016参照）
の側面に基板を張り付けて成長を行う方式。

barrel processing system