■8038　バッチ方式とは？

■8038　バッチ方式とは？

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★基板（2001参照）を一槽ごとに装着して処理を行う
方式。

参考：真空装置では、真空排気からはじまってエアー
リークして取り出すまでを同じ容器で行う。

batch processing system

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