■8039　ロードロック方式とは？

■8039　ロードロック方式とは？

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★ゲートバルブなどの隔離バルブを用いて処理槽と搬入・
搬出槽を隔離し、処理槽への空気の流入を防止したり、
温度、圧力（1005参照）などの外乱を小さくし品質の
安定化を目的とした方式。

load lock system

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