■8040　インライン方式とは？

■8040　インライン方式とは？

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★搬送系を備えて基板（2001参照）を逐次的に処理でき
るようにした方式。

参考：ロードロック方式（8039参照）を用いた閉口端式
とベルトコンベアのように流す開口端式とがある。

in-line system

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