■9015　二光干渉法とは？

■9015　二光干渉法とは？

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★光線束を二つに分け、一方を測定光線束、他方を比較
光線束（標準光源束）とし、光路差による干渉のずれに
よって表面観察又は膜厚を求める方法。

two-beam interferometry

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