■9016　繰り返し反射干渉法とは？

■9016　繰り返し反射干渉法とは？

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★向き合った反射率の高い二面間で繰り返し反射した光
の干渉を利用し鮮鋭な干渉縞を得て表面観察又は膜厚を
求める方法。多重反射干渉法ともいう。

multiple-beam interferometry

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