■9022　蛍光X線法とは？

■9022　蛍光X線法とは？

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★試料にX線を照射した際、基板（2001参照）及び膜から
放射される元素に特有の蛍光X線の強度を測定することに
よって膜厚を求める方法。

X-ray fluorescence method

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