■9033　電子プローブ微小部分分析法とは？

■9033　電子プローブ微小部分分析法とは？

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★細く絞られた電子線を試料に照射し、試料から励起さ
れて出てくる特性X線を解析して微小部分の元素分析を
行う方法。

略称　EPMA。X線マイクロアナリシス（XMA)ともいう。

electron probe microanalysis

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