■9034　イオンマイクロプローブ分析法とは？

■9034　イオンマイクロプローブ分析法とは？

------------------------------------------------

★イオンビームを幾つかの静電レンズで縮小し、ビーム
の直径を小さくして試料に照射し、試料から放出する
イオン、X線、光又は電子を検出して、表面の元素分析
や状態分析を局所的に行うとともに、イオンで試料を
スパッタリング（3047参照）し、深さ方向の分布を調
べる方法。
略称：IMA

参考：錯乱されるイオンを検出して分光する場合は
イオン錯乱分光分析（ISS)、二次イオンを検出する場合
はイオンマイクロアナリシス（IMA)、X線を検出する場
合はイオンマイクロ励起分光分析（SCANIIR）、オー
ジェ電子を検出する場合はイオン励起オージェ電子分光
分析（IAES）という。

ion microprobe analysis

▼お問合せのページは、こちらから。