■9035　オージェ電子分光法とは？

■9035　オージェ電子分光法とは？

------------------------------------------------

★数keVの電子線を試料表面に照射し、真空中へ放出され
る二次電子のうち、オージェ効果で放出される電子（オー
ジェ電子）のスペクトルを測定することによって試料表面
近傍に存在する元素を分析する方法。
略称　AES。
参考：走査形のオージェ電子分光法をSAMと略称する。

Auger electron spectroscopy

▼お問合せのページは、こちらから。