■9037　X線光電子分光法　とは？

■9037　X線光電子分光法　とは？

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★高真空下に置かれた試料表面に軟X線を照射し、光電効
果によって試料中の原子の内殻・外殻レベルから放出さ
れる電子の運動エネルギーから電子の結合エネルギーを、
その数からエネルギー状態で存在する原子の数を決定す
る方法。
略称　XPS。ESCAともいう。

X-ray photoelectron spectroscopy

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