■9038　低速イオン散乱分光法とは？

■9038　低速イオン散乱分光法とは？

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★数keV以下の低エネルギーイオンビームを物体に照射
したとき、錯乱されてくるイオンのエネルギーやイオン
数の角度分布を測定して物体の組織や構造を解析する
方法。
略称　LEIS。ISSと記することが多い。

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