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FAQ
■9039 ラザフォード後方散乱法とは?
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★数MeV程度の軽イオン(H+、He+)を試料表面に照射し、 試料中の原子核によってラザフォード散乱させたイオンの 数及びエネルギー分布を測定する方法。 略称 RBS。
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