■9052　高速電子線解析法とは？

■9052　高速電子線解析法とは？

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★加速エネルギーが約10keV以上の電子線を用いる電子
線回析法（9050参照）。
略称　HEED。

参考：透過電子線の回析像を見る場合〔透過電子線回析
（TED）という〕と反射電子線の回析蔵を見る場合〔反
射電子線回析（RHEED）という〕とがあるが、RHEED
における電子線の入射角を十分小さく、すなわち表面す
れすれに入射することによって結晶表面の構造を解析
するうことができる。

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