■9060　内部応力測定とは？

■9060　内部応力測定とは？

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★膜が基板（2001参照）に密着している状態で、膜の成長
や構造変化などに伴い膜の内部に生じた応力を測定するこ
と。
参考：膜と基板（2001参照）との間には熱応力も作用する
ため、測定温度を命じする必要がある。

internal stress measurement

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