めっきQ&A


●スパッタ法とは?

スパッタ法について教えてください。

物質に不活性な物質を高速で衝突させると、物質表面
で「原子」や「分子」と衝突し様ような現象が起こりま
す。この現象のうちで、物質を構成する原子や分子が叩
き出される過程を「スパッタリング」といい、この叩き
出された原子や分子を基板上に付着させ薄膜を形成する
技術を「スパッタ法」と呼びます。

【特長】
①付着力の強い膜が作成できる
②合金系や化合物の物質組成比をほぼ保ったまま膜作成
 が可能
③スパッタするガスに反応性のガスを混合することに
 よって、酸化物、窒化物の薄膜の作成も可能

この処理は当社で処理出来ませんのでご了承ください。

当社の技術レポートに「スパッタ」の詳細がございますのでご確認くださいませ。

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