めっきQ&A

FAQ

スパッタ法とは？

スパッタ法とは、真空中でイオンをターゲットに衝突
させ、弾き飛ばされた粒子を製品表面に堆積させる
真空成膜技術です。

真空中で放電を起こしてアルゴンなどのガスをプラズマ
化し、高速でぶつかる物理的エネルギーを利用するため、
融点の高い材料でも均一な薄膜を作ることが可能です。

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