めっきQ&A


●DLC膜の現状について。

DLC膜(コーティング)が情報機器部品や摺動部品に
使用されているようですが、その現状について教えて
ください。

1980年までの保護膜としてはセラミック系たとえば
アルミナ、窒化チタンなどが主流として使用されて
きました。
しかし、情報機器部品や摺動部品のニーズに対しては

 ①電子機器の軽小短薄化とポーラブル化
  (部品の高密度と高集積化)
 ②情報伝達と記録の高密度化

により、要求される保護膜の特性が変化し、DLC
(ダイヤモンドライクカーボン)膜の重要性がますます
増大しつつあるのが現状です。

情報機器部品や摺動部品としての保護膜の要求特性は
次の項目である。

 ①耐摩擦、耐摩耗特性に優れていること
  薄膜(膜厚:100A程度)においても耐摩耗性を
  十分発揮すること
 ②ピンホール、膜欠陥などが無く(皆無に近く)、
  表面が非常に平滑であること
  薄膜(膜厚:100A程度)においても耐摩耗性を
  十分発揮すること
 ③摩擦係数が小さいこと
 ④化学反応をしないこと

(参考文献 表面処理対策Q&A 産業技術サービス
 センター)

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