DLC膜の現状は？

1980年までの保護膜としてはセラミック系たとえばアルミナ、
窒化チタンなどが主流として使用されてきました。
しかし、情報機器部品や摺動部品のニーズに対しては

　①電子機器の軽小短薄化とポーラブル化
　　（部品の高密度と高集積化）
　②情報伝達と記録の高密度化

により、要求される保護膜の特性が変化し、DLC
（ダイヤモンドライクカーボン）膜の重要性がますます増大し
つつあるのが現状です。

情報機器部品や摺動部品としての保護膜の要求特性は
次の項目である。

　①耐摩擦、耐摩耗特性に優れていること
　　薄膜（膜厚：100A程度）においても耐摩耗性を
　　十分発揮すること
　②ピンホール、膜欠陥などが無く（皆無に近く）、
　　表面が非常に平滑であること
　　薄膜（膜厚：100A程度）においても耐摩耗性を
　　十分発揮すること
　③摩擦係数が小さいこと
　④化学反応をしないこと

参考文献　表面処理対策Q&A　産業技術サービスセンター

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