PVDとは？

PVD（物理蒸着）とは、真空中において物質を物理的に
蒸発・飛散させ、対象物の表面に薄膜を形成する技術
です。

加熱して蒸発させる「真空蒸着」や、プラズマで叩き出す
「スパッタリング」「イオンプレーティング」などの手法
があります。高温を必要とするCVDと比べ、比較的低温で
処理できるのが特徴です。