テフロン硬質アルマイト加工処理の表面のクラックについて。

テフロン硬質アルマイト加工処理したパーツを半導体
製造装置内部に使用したいと考えているのですが、高温に
なった場合にはクラックが入ってしまうものでしょうか？

また、クラックが入る温度の目安などがあればお教え頂け
ないでしょうか。

以上、宜しくお願い申し上げます。

高温になりますとクラックが入る可能性が高いです。
一般的には100℃でクラックが発生いたします。

３５０℃近辺になりますと、テフロンが溶解します。
また、アルミ母材が変形（ひずみ）する温度に達します
と、硬質アルマイト処理皮膜が割れてきます。

この変形も当社の事例ですと３５０℃以上になります。

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