めっきQ&A
テフロン硬質アルマイト処理に関するお問合せ
テフロン硬質アルマイト加工処理したパーツを半導体
製造装置内部に使用したいと考えているのですが、高温
になった場合にはクラックが入ってしまうものでしょう
か?
また、クラックが入る温度の目安などがあればお教え頂
けないでしょうか。
以上、宜しくお願い申し上げます。
高温になりますとクラックが入る可能性が高いです。
一般的には100℃でクラックが発生いたします。
350℃近辺になりますと、テフロンが溶解します。
また、アルミ母材が変形(ひずみ)する温度に達します
と、硬質アルマイト処理皮膜が割れてきます。
この変形も当社の事例ですと350℃以上になります。