メッキＱ＆Ａ


6020　ラピッドアニーリング

イオン打込みなどで損傷を受けた基板表面に高エネルギーの
レーザ、電子ビームなどを照射し、短時間に表面の欠陥や
歪みなどを除く方法。

rapid annealing

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