試料にX線を照射し、試料中の元素から生じる二次X線
の波長、強度を確定し、定性、定量分析を行う分析法。

原子番号9（F）により大きな全元素が分析できる。

組成範囲は0.01〜100％と広範囲にわたり、金属、非金属
を問わず、また粉末、塊、溶液、ガス状いずれも分析可能
である。

しかし発光分光分析と同様に、特に非破壊分析するとき
には標準試料が必要である。また原子番号12〜13（Mg,Al）
付近以下の元素に対しては感度が低い。

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