6027　気相めっき、ドライプロセス

気相めっき、ドライプロセスとは、気相状態を用いて材料表面を
めっきする方法でドライプロセスともいいます。

参考：PVD（物理蒸着法）とCVD（化学蒸着法）とがある。

気相めっき法は、以下のような特徴を持っています:

・広範なめっき材料:
約38種類の金属や非金属の元素、合金、炭化物、窒化物、酸化物
　などのめっきが可能です。
通常のめっき法では困難な素材（例: チタン、シリコン、タングステン、
　モリブデン、タンタル、ニオブ、ボロン、シリコン、カーボンなど）も
　含まれます。

・高い析出速度:
気相めっきは、高い析出効率を提供します。
キャリヤーガスを用いて気化させるため、素材表面に均一な皮膜を
　形成します。

・多様な皮膜の生成:
キャリヤーガスの種類や第三物質の添加によって、無数の超硬、超高融点、
　機能性の皮膜を得ることができます。

vapor plating,dry process

引用元：JIS 金属表面処理　2023

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